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        一分鐘帶您快速了解多波段橢偏儀的構造

        發表時間:2022-02-22  |  點擊率:164
          近年來,隨著儀器行業的不斷發展,多波段橢偏儀在市場上得到了快速地發展。由于其突出的表現,受到了廣泛用戶的青睞。目前本產品可以適用于超薄膜,與樣品非接觸等,下面我們就來具體的了解一下這款儀器!

          多波段橢偏儀的測量中使用不同的硬件配置,但每種配置都必須能產生已知偏振態的光束。測量由被測樣品反射后光的偏振態。這要求儀器能夠量化偏振態的變化量ρ。
         
          有些儀器測量ρ是通過旋轉確定初始偏振光狀態的偏振片。再利用第二個固定位置的偏振片來測得輸出光束的偏振態。另外一些儀器是固定起偏器和檢偏器,而在中間部分調制偏振光的狀態,如利用聲光晶體等,最終得到輸出光束的偏振態。這些不同的配置的最終結果都是測量作為波長和入射角復函數ρ。
         
          在選擇合適的多波段橢偏儀時候,光譜范圍和測量速度也是一個通常需要考慮的重要因素??蛇x的光譜范圍從深紫外的142nm到紅外的33microm。光譜范圍的選擇通常由應用決定。不同的光譜范圍能夠提供關于材料的不同信息,合適的儀器必須和所要測量的光譜范圍匹配。
         
          測量速度通常由所選擇的分光儀器來決定。單色儀用來選擇單一的、窄帶的波長,通過移動單色儀內的光學設備,單色儀可以選擇感興趣的波長。這種方式波長比較準確,但速度比較慢,因為每次只能測試一個波長。如果單色儀放置在樣品前,有一個優點是明顯減少了到達樣品的入射光的量。另外一種測量的方式是同時測量整個光譜范圍,將復合光束的波長展開,利用探測器陣列來檢測各個不同的波長信號。在需要快速測量的時候,通常是用這種方式。傅立葉變換分光計也能同時測量整個光譜,但通常只需一個探測器,而不用陣列,這種方法在紅外光譜范圍應用最為廣泛。

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