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      接近式光刻機在性能上都有哪些指標?

      發表時間:2022-05-12  |  點擊率:13
        接近式光刻機又名:曝光系統,光刻系統等,是一種用于信息科學與系統科學、能源科學技術、電子與通信技術領域的工藝試驗儀器。其工作方式是通過光的作用,將掩模版上的電路圖形投影到產品表面光刻膠上,然后顯影出圖形,最后經過蝕刻、離子植入等制程定型形成有效的電路。
       

       

        工作原理:
        接近式光刻機通過一系列的光源能量、形狀控制手段,將光束透射過畫著線路圖的掩模,經物鏡補償各種光學誤差,將線路圖成比例縮小后映射到硅片上,不同光刻機的成像比例不同,有5:1,也有4:1。然后使用化學方法顯影,得到刻在硅片上的電路圖。
        一般的光刻工藝要經歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準曝光、后烘、顯影、硬烘、激光刻蝕等工序。經過一次光刻的芯片可以繼續涂膠、曝光。越復雜的芯片,線路圖的層數越多,也需要更精密的曝光控制過程?,F在先進的芯片有30多層。
       
        性能指標:
        接近式光刻機的主要性能指標有:支持基片的尺寸范圍,分辨率、對準精度、曝光方式、光源波長、光強均勻性、生產效率等。
        分辨率是對光刻工藝加工可以達到的最細線條精度的一種描述方式。光刻的分辨率受受光源衍射的限制,所以與光源、光刻系統、光刻膠和工藝等各方面的限制。
        對準精度是在多層曝光時層間圖案的定位精度。
        曝光方式分為接觸接近式、投影式和直寫式。
        曝光光源波長分為紫外、深紫外和極紫外區域,光源有汞燈,準分子激光器等。
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