<rp id="bbpvz"><progress id="bbpvz"></progress></rp>
<delect id="bbpvz"><address id="bbpvz"><delect id="bbpvz"></delect></address></delect><delect id="bbpvz"><span id="bbpvz"><font id="bbpvz"></font></span></delect>

<font id="bbpvz"></font><mark id="bbpvz"></mark>

      <pre id="bbpvz"><listing id="bbpvz"></listing></pre>
      <thead id="bbpvz"><th id="bbpvz"><ins id="bbpvz"></ins></th></thead>

      <p id="bbpvz"><noframes id="bbpvz">

        歡迎來到岱美儀器技術服務(上海)有限公司網站!
        咨詢熱線

        13917837832

        當前位置:首頁  >  產品中心  >  EVG鍵合機  >  金屬鍵合設備  >  EVG810 LTEVG810 LT 低溫等離子活化系統

        EVG810 LT 低溫等離子活化系統

        簡要描述:EVG810 LT 低溫等離子活化系統用于SOI,MEMS,化合物半導體和高級襯底鍵合的低溫等離子體活化系統。

        • 產品型號:EVG810 LT
        • 廠商性質:代理商
        • 更新時間:2020-01-03
        • 訪  問  量: 725

        相關文章

        Related Articles

        詳細介紹

        EVG810 LT 低溫等離子活化系統

         

        用于SOI,MEMS,化合物半導體和高級襯底鍵合的低溫等離子體活化系統

         

        一、簡介

        EVG810 LT (LowTemp™)低溫等離子活化系統是一個獨立單腔室系統,具有手動操作功能。 處理室允許非原位處理(晶片一個接一個地激活并且鍵合在等離子體活化室外部)。

         

        二、特征

             用于低溫鍵合的表面等離子體活化(熔合/分子和中間層鍵合)

             任何晶圓鍵合機制的zui快動力學

             無需濕法工藝

             低溫退火時的zui高鍵合強度(zui高400°C)

             適用于SOI,MEMS,化合物半導體和先進封裝

             高度的材料兼容性(包括CMOS)

         

        三、參數

        1.晶圓尺寸:50-200mm,100-300mm

        2.低溫等離子活化腔:

        工藝氣體:2種標準工藝氣體(N2和O2)

        通用大流量控制器:自校準(高達20.000 sccm)

        真空系統:0.09 mbar

        打開/關閉腔室:自動化

        裝載/卸載腔室:手動(晶圓/基板放置在裝載銷上)

        3.備選功能:

        用于不同的晶圓尺寸的夾頭

        金屬離子激活

        帶有氣體混合的附加工藝氣體

        帶渦輪泵的高真空系統:0.009 mbar的基礎氣壓

         

        產品咨詢

        留言框

        • 產品:

        • 您的單位:

        • 您的姓名:

        • 聯系電話:

        • 常用郵箱:

        • 省份:

        • 詳細地址:

        • 補充說明:

        • 驗證碼:

          請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7
        亚洲精品不卡久久久久久
          <rp id="bbpvz"><progress id="bbpvz"></progress></rp>
        <delect id="bbpvz"><address id="bbpvz"><delect id="bbpvz"></delect></address></delect><delect id="bbpvz"><span id="bbpvz"><font id="bbpvz"></font></span></delect>

        <font id="bbpvz"></font><mark id="bbpvz"></mark>

            <pre id="bbpvz"><listing id="bbpvz"></listing></pre>
            <thead id="bbpvz"><th id="bbpvz"><ins id="bbpvz"></ins></th></thead>

            <p id="bbpvz"><noframes id="bbpvz">