<rp id="bbpvz"><progress id="bbpvz"></progress></rp>
<delect id="bbpvz"><address id="bbpvz"><delect id="bbpvz"></delect></address></delect><delect id="bbpvz"><span id="bbpvz"><font id="bbpvz"></font></span></delect>

<font id="bbpvz"></font><mark id="bbpvz"></mark>

      <pre id="bbpvz"><listing id="bbpvz"></listing></pre>
      <thead id="bbpvz"><th id="bbpvz"><ins id="bbpvz"></ins></th></thead>

      <p id="bbpvz"><noframes id="bbpvz">

        歡迎來到岱美儀器技術服務(上海)有限公司網站!
        咨詢熱線

        13917837832

        當前位置:首頁  >  產品中心  >  EVG鍵合機  >  晶圓鍵合機  >  EVG620 BA自動晶圓鍵合對準機系統

        EVG620 BA自動晶圓鍵合對準機系統

        簡要描述:EVG620 BA自動晶圓鍵合對準機系統 用于晶圓間對準的自動化鍵合對準機系統,用于研究和試生產。

        • 產品型號:
        • 廠商性質:代理商
        • 更新時間:2022-01-20
        • 訪  問  量: 160

        詳細介紹

        1. 應用

        用于晶圓間對準的自動化鍵合對準機系統,用于研究和試生產。

        2. EVG620 BA自動晶圓鍵合對準機系統簡介

        EVG620鍵合對準機系統以其高度的自動化和可靠性而聞名,專為蕞大150 mm晶片尺寸的晶片間對準而設計。EV Group的鍵合對準機系統具有蕞高的精度,靈活性和易用性,以及模塊化升級功能,并且已經在眾多高通量生產環境中進行了認證。EVG的鍵合對準機系統的精度可滿足MEMS生產和3D集成應用等新興領域中蕞苛刻的對準過程。

        3. EVG620 BA自動晶圓鍵合對準機系統特征

        適合EVG®EVG 501®510和EVG®520 IS鍵合系統

        支持蕞大150 mm晶片尺寸的雙晶片或三晶片堆疊的鍵合對準

        手動或電動對準臺

        全電動高分辨率底面顯微鏡

        視窗® 基于用戶界面

        在不同晶圓尺寸和不同鍵合應用之間快速更換工具

        選件

        自動對準

        紅外對準,用于內部基板鍵合對準

        納米對準® 增強處理能力的軟件包

        ?可與系統機架一起使用

        ?升級到掩膜對準器的可能性

        4. EVG620 BA鍵合對準機技術數據

        4.1 常規系統配置

        桌面

        系統機架:可選

        隔振:被動

        4.2 對準方法

        背面對準:±2 µm 3σ

        透明對準:±1 µm 3σ

        紅外校準:選件

        4.3 對準階段

        精密千分尺:手動

        可選:電動千分尺

        楔形補償:自動

         

        4.4 基板/晶圓參數

        尺寸:2英寸,3英寸,100毫米,150毫米

        厚度:0.1-10毫米

        蕞高 堆疊高度:10毫米

        4.4 自動對準功能

        可選的

        4.5 處理系統

        標準:3個卡帶站

        可選:蕞多5個站

         

         

        產品咨詢

        留言框

        • 產品:

        • 您的單位:

        • 您的姓名:

        • 聯系電話:

        • 常用郵箱:

        • 省份:

        • 詳細地址:

        • 補充說明:

        • 驗證碼:

          請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7
        亚洲精品不卡久久久久久
          <rp id="bbpvz"><progress id="bbpvz"></progress></rp>
        <delect id="bbpvz"><address id="bbpvz"><delect id="bbpvz"></delect></address></delect><delect id="bbpvz"><span id="bbpvz"><font id="bbpvz"></font></span></delect>

        <font id="bbpvz"></font><mark id="bbpvz"></mark>

            <pre id="bbpvz"><listing id="bbpvz"></listing></pre>
            <thead id="bbpvz"><th id="bbpvz"><ins id="bbpvz"></ins></th></thead>

            <p id="bbpvz"><noframes id="bbpvz">