<rp id="bbpvz"><progress id="bbpvz"></progress></rp>
<delect id="bbpvz"><address id="bbpvz"><delect id="bbpvz"></delect></address></delect><delect id="bbpvz"><span id="bbpvz"><font id="bbpvz"></font></span></delect>

<font id="bbpvz"></font><mark id="bbpvz"></mark>

      <pre id="bbpvz"><listing id="bbpvz"></listing></pre>
      <thead id="bbpvz"><th id="bbpvz"><ins id="bbpvz"></ins></th></thead>

      <p id="bbpvz"><noframes id="bbpvz">

        歡迎來到岱美儀器技術服務(上海)有限公司網站!
        咨詢熱線

        13917837832

        當前位置:首頁  >  產品中心  >  應力測量  >  FSM應力儀  >  FSM 128美國FSM 薄膜應力及基底翹曲測試設備

        美國FSM 薄膜應力及基底翹曲測試設備

        簡要描述:美國FSM 薄膜應力及基底翹曲測試設備:在襯底鍍上不同的薄膜后, 因為兩者材質不一樣,以及不同的材料不同溫度下特性不一樣, 所以會引起應力。 如應力太大會引起薄膜脫落, 引致組件失效或可靠性不佳的問題。 薄膜應力激光測量儀利用激光測量樣本的形貌,透過比較鍍膜前后襯底曲率半徑的變化, 以Stoney’s Equation計算出應力, 是品檢及改進工藝的有/效手段。

        • 產品型號:FSM 128
        • 廠商性質:代理商
        • 更新時間:2022-01-20
        • 訪  問  量: 330

        詳細介紹

        美國FSM 薄膜應力及基底翹曲測試設備

          在襯底鍍上不同的薄膜后, 因為兩者材質不一樣,以及不同的材料不同溫度下特性不一樣, 所以會引起應力。 如應力太大會引起薄膜脫落, 引致組件失效或可靠性不佳的問題。 薄膜應力激光測量儀利用激光測量樣本的形貌,透過比較鍍膜前后襯底曲率半徑的變化, 以Stoney’s Equation計算出應力, 是品檢及改進工藝的有/效手段。

          1) 快速、非接觸式測量

          2) 128型號適用于3至8寸晶圓

          128L型號適用于12寸晶圓

          128G 型號適用于470 X 370mm樣品,

          另可按要求訂做不同尺寸的樣品臺

          3) 雙激光自動轉換技術

          如某一波長激光在樣本反射度不足,系統會自動使用

          另一波長激光進行掃瞄,滿足不同材料的應用

          4) 全自動平臺,可以進行2D及3D掃瞄(可選)

          5) 可加入更多功能滿足研發的需求

          電介質厚度測量

          6) 500 及 900°C高溫型號可選

          7) 樣品上有圖案亦適用

        image007.jpg

        美國FSM 薄膜應力及基底翹曲測試設備  FSM128規格

          1) 測量方式: 非接觸式(激光掃瞄)

          2) 樣本尺寸:

          FSM 128NT: 75 mm to 200 mm

          FSM 128L: 150 mm/ 200 mm/ 300mm

          FSM 128G: /大550×650 mm

          3) 掃瞄方式: 高精度單次掃瞄、2D/ 3D掃瞄(可選)

          4) 激光強度: 根據樣本反射度自動調節

          5) 激光波長: 650nm及780nm自動切換(其它波長可選)

          6) 薄膜應力范圍: 1 MPa — 4 GPa

          (硅片翹曲或彎曲度變化大于1 micron)

          7) 重復性: 1% (1 sigma)*

          8) 準確度: ≤ 2.5%

          使用20米半徑球面鏡

          9) 設備尺寸及重量:

          FSM 128: 14″(W)×22″(L)×15″(H)/ 50 lbs

          FSM128L:14″(W)×26″(L)×15″/ 70 lbs

          FSM128G:37″(W)×48″(D)×19″(H)/ 200 lbs

          電源 : 110V/220V, 20A

         

         

        產品咨詢

        留言框

        • 產品:

        • 您的單位:

        • 您的姓名:

        • 聯系電話:

        • 常用郵箱:

        • 省份:

        • 詳細地址:

        • 補充說明:

        • 驗證碼:

          請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7
        亚洲精品不卡久久久久久
          <rp id="bbpvz"><progress id="bbpvz"></progress></rp>
        <delect id="bbpvz"><address id="bbpvz"><delect id="bbpvz"></delect></address></delect><delect id="bbpvz"><span id="bbpvz"><font id="bbpvz"></font></span></delect>

        <font id="bbpvz"></font><mark id="bbpvz"></mark>

            <pre id="bbpvz"><listing id="bbpvz"></listing></pre>
            <thead id="bbpvz"><th id="bbpvz"><ins id="bbpvz"></ins></th></thead>

            <p id="bbpvz"><noframes id="bbpvz">