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      詳細解析接近式光刻機的結構及作用
      2022-05-16

      接近式光刻機在單室設計上可以滿足研發工作,與EVG的自動化系統完全兼容。EVG101支持大300mm的晶圓,可配置為旋涂或噴涂和顯影。使用EVG先進的OmniSpray涂層技術,在3D結構晶圓上實現光刻膠或聚合物的共形層,用于互連技術。這確...

      • 2022-05-05

        納米壓痕儀是近期比較受關注的一個儀器,可能很多人都不知道它到底是干嘛的,有什么特性,今天岱美儀器小編就帶大家來詳細了解下它的結構功能特性以及在各個領域的應用情況。我們先了解它的性能,納米壓痕儀能通過實時記錄力和對應位移深度的曲線來測量納米或微米級薄膜材料力學性能。該儀器不僅提供納米壓痕功能,同時也提供納米劃痕功能和臺階儀功能,不僅可以滿足薄膜硬度、彈性模量等性能的測量,還可實現薄膜與基體之間的結合力和定量表面形貌的測量。其電磁驅動器具有很好的力和位移動態范圍,可測量6個數量級...

      • 2022-04-27

        膜厚儀又叫膜厚測試儀,可應用于在線膜厚測量,測氧化物,SiNx,感光保護膜和半導體膜。也可以用來測量鍍在鋼,鋁,銅,陶瓷和塑料等上的粗糙膜層。薄膜表面或界面的反射光會與從基底的反射光相干涉,干涉的發生與膜厚及折光系數等有關,因此可通過計算得到薄膜的厚度。光干涉法是一種無損,精確且快速的光學薄膜厚度測量技術,薄膜測量系統采用光干涉原理測量薄膜厚度。膜厚儀符合了(GB/T4957-2003)中的渦流法以及(GB/T4956-2003)中的磁性法等相關標準。一般根據原理不同可分為3...

      • 2022-04-26

        3D劃痕儀主要用來測定色漆和清漆或有關產品的單一涂層或符合涂層體系乃劃傷或耐劃透的性能。使用于GB9279-88《色漆和清漆劃痕試驗》和ISO12137-1:1997《色漆和清漆耐劃傷性的測定》標準。3D劃痕儀的原理:測試樣品通過夾軌固定到移動滑板上,有一條移動橫梁固定在兩條立柱上,橫梁可以自由移動,用于承載測試工具和載荷。壓力范圍0.5-20N,通過移動橫梁上的載荷對照刻度來設置進行劃痕測試時,測試工具放到試樣上,然后試樣向前移動,開始劃痕測試。當滑板及試樣回頭移動時,導向...

      • 2022-04-18

        紅外激光測厚儀是用來測量材料及物體厚度的儀表。在工業生產中常用來連續或抽樣測量產品的厚度。這類儀表中有利用α射線、β射線、γ射線穿透特性的放射性厚度計;有利用超聲波頻率變化的超聲波厚度計;有利用渦流原理的電渦流厚度計;還有利用機械接觸式測量原理的測厚儀等。應用領域:黃金,鉑,銀等貴金屬和各種首飾的含量檢測;金屬鍍層的厚度測量,電鍍液和鍍層含量的測定;主要用于貴金屬加工和首飾加工行業;銀行,首飾銷售和檢測機構;電鍍行業。紅外激光測厚儀主要類型:...

      • 2022-04-08

        在SEMICON展會期間,為半導體、微機電系統(MEMS)和納米技術應用提供晶圓處理解決方案的優越企業EVG隆重推出了用于高亮度發光二極管(HB-LED)批量生產的第二代全自動掩模對準系統。GenII在發布第一代EVG620HBL的一年后推出,提供一個工具平臺,主要用于滿足HB-LED客戶的特定需求,以及市場對降低總所有權成本的不斷要求。另外,EVG620HBLGenII還優化了晶圓廠的工具足跡——與競爭產品相比,每平方米潔凈室空間的晶圓產出量提高了5...

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